简单来说，三坐标测量仪是一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴之位移量测系统（如光学尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标（x，y，z）及各项功能量测的仪器。
目前移动桥式结构是中小型三坐标测量机的主要结构，这种结构特点是开敞性好，视野开阔，上下零件方便，运动速度快，精度高。配备高精度的导轨、测头和控制系统，并结合计算机程序来自动控制检测流程，从而计算输出测量结果，支持测头更换架以及影像相机，同时支持精密转台等，能够对各种零件和部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测，也可以对软材质或复杂零件进行光学扫描测量。优点：
1.机械结构简单；
2.承载力高；
3.开敞性好，操作方便；
4.自身具有工作台；
5.外界震动对其影响相对小；
6.精度相对固定桥式稍低。
三坐标测量仪主要检测形位公差，包括：几何元素的测量：点、线、圆、面、球、弧、椭圆、圆柱、圆 锥、键 槽、曲线、曲面；几何元素的构造：投影、中分、相交、相切、镜像、拟合、平移、垂直、平行、组合、旋转、偏置线、偏置；形位公差软件：直线度、平面度、圆度、圆柱度、 圆锥度、球度、距离、夹角、垂直度、平行度、倾斜度、位置度（2D及3D）、对称度、同轴度、 同心度等。
